Anu séjén nyaéta métode fase-gas, métode déposisi uap kimia (CAV), ogé katelah métode pirolisis, métode garing atawa métode durukan. Bahan baku na umumna silikon tetraklorida, oksigén (atawa hawa) jeung hidrogén, nu meta dina suhu luhur.
The reaction equation is: SiCl4+2H2+O2 - >SiO{0}}HCl. Hawa jeung hidrogén masing-masing subjected ka pressurization, separation, cooling jeung dehidrasi, silika gél drying, panyabutan lebu jeung filtration saméméh dikirim ka tungku hidrolisis sintétik. Saatos bahan baku silikon tetraklorida dikirim ka kolom distilasi pikeun distilasi, éta dipanaskeun sareng ngejat dina evaporator, teras dikirim ka tungku hidrolisis sintétik kalayan hawa garing sareng disaring salaku pamawa. Silikon tétraklorida nguap dina suhu luhur (suhu seuneu 1000-1800 derajat ) terus ngalaman hidrolisis fase gas - kalawan jumlah hidrogén jeung oksigén (atawa hawa) dina kira-kira 1800 derajat . Dina titik ieu, partikel silika fase-gas anu dihasilkeun kacida alusna sarta ngabentuk aerosol kalawan gas, nu hese direbut.
Ku alatan éta, aranjeunna mimitina aggregated kana partikel nu leuwih gede dina agrégator, lajeng dikumpulkeun ku separator siklon, sarta dikirim ka tungku deacidification. Gas -silika fase dikumbah ku nitrogén-ngandung hawa nepi ka nilai PH 4 nepi ka 6, nu mangrupa produk rengse.